カルレッツ®パーフロロエラストマーは、米国デュポン社が開発したエラストマー材料。
このエラストマー材料は、テフロン®フッ素樹のもつ優れた耐薬品性、従来のフッ素ゴムの持つ弾力性を兼ね備えた製品。カルレレッツはお客様のご使用環境や用途に応じ多数の材質がラインナップされており、半導体業界で求められる耐プラズマ用途で、今、グローバルで最も求められているノンフィラー(無充填材)のクリアーカルレッツ『8002』『 6005』の性能は他のパーフロロエラストマーの追随を許しません。耐熱用途にはカルレッツ『8900』、耐薬品用途にはカルレッツ『6375』をラインナップ。カルレッツ®部品を半導体製造装置用シール材に用いた場合では、シールの長寿命化、半導体製品の歩留まり向上、メンテナンスコストの減少、より低いコンタミネーションが期待!
カルレッツ®は、米国デュポン社の登録商標です。
特長
1.クリアカルレッツ『8002』『6005』(1)今、グローバルに求められているノンフィラー(無充填)材です。
(2)充填剤を含んでいないためパーティクルの発生が極限まで抑えられます。
(3)独自のポリマー技術により無充填でありながら、
a.酸素及びフッ素系のプラズマに対し非常に優れた耐性を示します。
b.機械的強度が良く、圧縮歪み特性に優れている。非常に優れたクラック耐性を有しています。
c.275℃までの高温領域で使用出来ます。
2.カルレッツ『8900』
(1)耐熱性、低放出ガス特性に優れています。
(2)高温プロセスでのシール性、機械特性に優れています。
3.カルレッツ『6375』
(1)幅広い耐食性流体に対して耐薬品性が優れています。
(2)アミン類に対して最適な材質です。
(3)抽出物が非常に少なくウェット用途に適しています。