Oリング

カルレッツ^®

カルレッツ®パーフロロエラストマーは、米国デュポン社が開発したエラストマー材料。 このエラストマー材料は、テフロン®フッ素樹のもつ優れた耐薬品性、従来のフッ素ゴムの持つ弾力性を兼ね備えた製品。カルレレッツはお客様のご使用環境や用途に応じ多数の材質がラインナップされており、半導体業界で求められる耐プラズマ用途で、今、グローバルで最も求められているノンフィラー(無充填材)のクリアーカルレッツ『8002』『 6005』の性能は他のパーフロロエラストマーの追随を許しません。耐熱用途にはカルレッツ『8900』、耐薬品用途にはカルレッツ『6375』をラインナップ。カルレッツ®部品を半導体製造装置用シール材に用いた場合では、シールの長寿命化、半導体製品の歩留まり向上、メンテナンスコストの減少、より低いコンタミネーションが期待！ カルレッツ®は、米国デュポン社の登録商標です。

スペリア

スペリアシリーズは、半導体プロセスの幅広い分野で、優れた機能を発揮するフッ素ゴムです。 半導体プロセスで広く求められる耐プラズマ用途には F2815を、耐薬品用途にはFP64をラインナップしております。