半導体製造装置

マルチセンサ

・機械式圧力計の目視確認をDX化 　作業効率化、負荷軽減、設備の監視強化を実現 ・圧力計、温度計、振動計を一体化した独自開発 3in1センサ採用 ・測定レンジにおいて高精度の測定が可能 ・電池駆動、低消費電力設計 ・無線通信によるデータ出力 ・配線工事不要で既存設備に後付け可能

溶接金属ベローズ

「Bellows」とは「蛇腹」のことを示します。 当社の提供する溶接金属ベローズはドーナッツ状に切り抜いた金属の薄板を内周溶接、外周溶接を交互に行って重ねることで作っており、優れた伸縮性と曲げ性を有する筒状のベローズです。 しなやかな伸縮性・変位吸収性を生かして半導体、電子部品製造装置用真空機器を中心とした真空機器の他、メカニカルシール、ベローズジョイント、アキュムレータ等様々な製品にご採用頂いております。 弊社のベローズは原子力用や航空宇宙製品にも採用されており、厳しい品質管理と信頼性を持った製品を提供しております。 このベローズの耐久性、耐圧性、 均一な変位特性を生かした応用製品として、半導体、電子部品製造装置用真空ベローズ 、並びにベローズシールがあり、これらはすでに大きな実績をあげています。 またこの他、溶接ベローズジョイント、アキュムレータ、精密装置用 のベローズカップリングや、原子力燃料制御棒、加速器用高真空機器、各種試験設備用ベローズを製品化しています。

磁性流体シール

磁性流体が磁石の磁力線に沿って寄っていく特性を利用し、回転軸のシール部に流体を保持して、主に大気と真空を遮断するシールです。半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ製造装置の真空シール、および搬送用ロボット軸受部のダストシールの用途等で採用されています。 磁性流体シールで一番重要な磁性流体は①磁性微粒子、②界面活性剤、③ベース液の３つの主要構成要素から成り立ちます。そのすべてをNOKグループ内で開発・製造しており、独自の分散技術、界面活性剤調整技術、超低蒸気圧オイル製造技術により他社にない優れた流体を使用した磁性流体シールを提供いたします。

ハイブリッドシール

　磁性流体シール、溶接ベローズ、ロータリージョイントを1社で設計製造販売をしている世界唯一のメーカーの弊社が、各要素を組合せてユニット化した製品。一体化する事により取り扱い性を向上。磁性流体シールと溶接ベローズを一体化する事により、回転と往復動の真空シールを実現。ロータリージョイントを組み合わせることにより、磁性流体シールのシャフトに冷却水や温調用流体を通すことが可能です。 　多軸の磁性流体シールに溶接ベローズとロータリージョイントを組合せることによって、コンパクトな設計が可能に！

ロータリージョイント

国内トップのメカニカルシールメーカーである弊社の独自技術を生かしたメカニカルシールタイプのロータリージョイントです。堅牢なメカニカルシールの特徴を生かした高性能。高信頼性のロータリージョイントを提供します。 各種装置の回転軸への冷却水・温調用の流体を供給したり、半導体の製造工程でウェハーを研磨するCMPやラッピング装置等に使用されています。

スペリア ドアシール

ゲートバルブやスリットバルブ等のバルブの弁体のシール材のエラストマー（スペリアF2815､FKM）と金属材を一体成型した弁体！ Oリングを弁体の溝にセットする作業が不要の為、ゴムの捻じれによる装着不具合が発生しない。装着・交換が容易に行えます。使用中のシール部のゴム材の捩じれもない為、寿命の延長により、メンテナンスサイクル延長を実現！また、摩擦箇所が減るため、パーティクルの抑制にもつながります。

スペリア

スペリアシリーズは、半導体プロセスの幅広い分野で、優れた機能を発揮するフッ素ゴムです。 半導体プロセスで広く求められる耐プラズマ用途には F2815を、耐薬品用途にはFP64をラインナップしております。

カルレッツ^®

カルレッツ®パーフロロエラストマーは、米国デュポン社が開発したエラストマー材料。 このエラストマー材料は、テフロン®フッ素樹のもつ優れた耐薬品性、従来のフッ素ゴムの持つ弾力性を兼ね備えた製品。カルレレッツはお客様のご使用環境や用途に応じ多数の材質がラインナップされており、半導体業界で求められる耐プラズマ用途で、今、グローバルで最も求められているノンフィラー(無充填材)のクリアーカルレッツ『8002』『 6005』の性能は他のパーフロロエラストマーの追随を許しません。耐熱用途にはカルレッツ『8900』、耐薬品用途にはカルレッツ『6375』をラインナップ。カルレッツ®部品を半導体製造装置用シール材に用いた場合では、シールの長寿命化、半導体製品の歩留まり向上、メンテナンスコストの減少、より低いコンタミネーションが期待！ カルレッツ®は、米国デュポン社の登録商標です。