
For Semiconductor Industry半導体業界向け事業
当社の半導体業界向け事業は、半導体製造装置に使用される磁性流体シール、ベローズ、ロータリージョイント、高機能Oリングを、世界中の半導体製造装置メーカーに提供しています。半導体業界において各種シール製品を全て内製できる企業は、世界で当社グループのみです。
低発塵、低摩擦、耐熱、耐プラズマ性等が求められる半導体チップ、FPD等製造装置に当社のシール製品が使用されています。
主要製品
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磁性流体シール
磁石を用いて磁性流体を回転軸の周りに保持するクリーンなシールです。半導体製造装置やフラットパネル...
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溶接金属ベローズ
当社の溶接ベローズは、独特の溶接技術によって製作される ネスティングタイプ(密着型)で、その強度・金...
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半導体用ロータリージョイント
メカニカルシールを内蔵した画期的な回転継手で、低トルクでコンパクトな製品です。半導体の製造工程で...
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ハイブリッドシール
磁性流体シール、溶接ベローズ、ロータリージョイントを1社で設計製造販売をしている世界唯一のメーカー...
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カルレッツ®
カルレッツ®パーフロロエラストマーは、米国デュポン社が開発したエラストマー材料。このエラスト...
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スペリア
スペリアシリーズは、耐薬品性・低アウトガス・高熱性に優れ、半導体プロセスの幅広い分野で、その名の通り...
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スペリア ドア・シール
ゲートバルブやスリットバルブ等のバルブの弁体のシール材のエラストマー(スペリアF2815、FKM)...
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