低発塵、低摩擦、耐熱、耐プラズマ性等が求められる半導体チップ、FPD等製造装置に当社のシール製品が使用されています。

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  磁性流体シール

  磁石を用いて磁性流体を回転軸の周りに保持するクリーンなシールです。半導体製造装置やフラットパネル...

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  溶接金属ベローズ

  当社の溶接ベローズは、独特の溶接技術によって製作される ネスティングタイプ(密着型)で、その強度・金...

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  半導体用ロータリージョイント

  メカニカルシールを内蔵した画期的な回転継手で、低トルクでコンパクトな製品です。半導体の製造工程で...

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  カルレッツ^®

  エラストマーの弾力性とシール性、テフロンの耐薬品性と 熱安定性を併せ持った合成ゴムです。従来のフッ素...

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  スペリア

  スペリアシリーズは、耐薬品性・低アウトガス・高熱性に優れ、半導体プロセスの幅広い分野で、その名の通り...

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