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PRODUCTS
磁流体密封
利用磁铁将磁流体保持在旋转轴周围的清洁型密封。用作半导体制造设备及平板显示器制造设备的真空密封及搬运机器人轴承部分的防尘密封等。
旋转接头
内置机械密封的创新型旋转接头,具有低扭矩、结构紧凑的特点。在半导体制造工序中,用于抛光晶片的CMP或研磨设备等。
高优型
高优系列是在耐化学性、低释气、高热量方面具有优良性能,在半导体工艺的众多领域中就如同产品系列名所示发挥着超越性能的O型圈材料。
焊接金属波纹管
本公司的焊接波纹管是通过独特的焊接技术制成的嵌套式(紧贴式)波纹管,按照美国火箭、航空器用波纹管的质量、性能标准,对其强度、金属结构进行严格的质量管理。 利用其耐久性、耐压性、均匀位移特性的应用产品有半导体、电子元器件制造设备用真空波纹管及波纹管密封,这些产品取得了良好的销售业绩。 此外,还推出了焊接波纹管接头、蓄能器、精密设备用波纹管联轴器、核燃料控制棒、加速器用高真空设备、各种试验设备用波纹管等产品。