产品信息
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高优型
高优系列是在耐化学性、低释气、高热量方面具有优良性能，在半导体工艺的众多领域中就如同产品系列名所示发挥着超越性能的O型圈材料。
特征
提供FKM、VMQ材料等可用于半导体工艺各项用途的材料。
耐等离子性出色。（F815、F880）
耐化学性、耐溶剂性出色。（FP64、FP53）
低释气材料。
对半导体制造中产生的光热具有耐受性。
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