EKKテクノロジー

EKKテクノロジー

Material Analysis Technology材料分析技術

XRDによる薄膜の分析例

XRDはX線回折装置(X-ray diffractometer)です。物質を構成する原子や分子で散乱されるX線の散乱強度曲線から結晶性物質と非晶質物質の区別や、結晶性物質では回折図形から物質の同定ができます。

XRDを使って成膜速度により結晶構造が変化することを確認。XRDは応力測定専用機も所持しており、成形品の測定にも活用しています。

  • XRDによる薄膜の分析例
  • XRDによる薄膜の分析例

その他の分析装置

SEM

走査型電子顕微鏡(Scanning electron microscope)は、電子線を試料上で走査させながら照射し、試料から発生した信号を各種検出器で検出して二次電子像として示し、表面の微小領域の形態、組成を観察する装置です。

SEMを活用することにより、加速電圧:0.5~30kV、倍率:18×~300,000にて、観察可能です。

SEM観察
  • SEM観察
  • Fatigue fracture surface
    Fatigue fracture surface
EDS WDS
  • EDS(Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy)
    試料から発生した特性 X 線を直接半導体検出器で検出し、電気信号に変えて分光分析(元素分析)する手法で、簡便で高速な分析手法です。
  • WDS(Wavelength-Dispersive X-ray Spectroscopy)
    試料から発生する特性 X 線を分光結晶でのブラッグ反射を利用し特定波長の X 線を分離検出することにより、分光分析(元素分析)する手法で、高エネルギー分解能により、微量元素検出が可能です。

当社では、EDSとWDSの両方を保有しており5B~92Uの元素まで分析可能です。
EDSによる迅速な分析、WDSによる詳細な成分の分析が行えます。

EDSによる分析
  • Cross section of the corrosion marks
    Cross section of the corrosion marks
    EDS mapping
    EDS mapping
  • EDS energy spectrum
    EDS energy spectrum