製品情報

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磁性流体シール

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 磁性流体が磁石の磁力線に沿って寄っていく特性を利用し、回転軸のシール部に流体を保持して、主に大気と真空を遮断するシールです。半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ製造装置の真空シール、および搬送用ロボット軸受部のダストシールの用途等で採用されています。

 磁性流体シールで一番重要な磁性流体は①磁性微粒子、②界面活性剤、③ベース液の3つの主要構成要素から成り立ちます。そのすべてをNOKグループ内で開発・製造しており、独自の分散技術、界面活性剤調整技術、超低蒸気圧オイル製造技術により他社にない優れた流体を使用した磁性流体シールを提供いたします。

特長

1.磁性流体シールの原理
 (1)流体を介在させて大気と真空(あるいは大気)を遮断するシールです。
 (2)シール部に摺動箇所を持たない為、摩耗による異物が発生せず、低トルクのシールになります。

2.弊社磁性流体シールの特長
 (1)磁性流体の構成要素の①磁性微粒子、②界面活性剤、③ベース液の全てをNOKグループ内で
    開発・製造している事。
 (2)磁性流体の構成要素から製造している為、他社の追随を許さない高温特性、低蒸気圧特性を実現。
   a.雰囲気温度220℃まで対応できます。〔E-01Pa〕
   b.作動排気なしでE-09Pa以下(常温)まで対応できます。
 (3)同軸2軸や3軸等の多軸にして、各軸が独立した回転をすることができます。

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製品名:磁性流体シール
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