製品情報

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半導体用ロータリージョイント

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印 刷

メカニカルシールを内蔵した画期的な回転継手で、低トルクでコンパクトな製品です。半導体の製造工程でウェハーを研磨するCMPやラッピング装置等に使用されています。

特長

●多様な業界で培った豊富なシール技術を生かし、高性能、高信頼を実現させた製品です。

●お客様のあらゆるニーズに合わせ、最適な設計をご提案します。

●清浄度管理された生産工程によるクリーンな製品。

●磁性流体、溶接金属ベローズなどの関連製品の設計・製作も行っており、複合設計による一体化が可能。