製品情報

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半導体用ロータリージョイント

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印 刷

 国内トップのメカニカルシールメーカーである弊社の独自技術を生かしたメカニカルシールタイプのロータリージョイントです。堅牢なメカニカルシールの特徴を生かした高性能。高信頼性のロータリージョイントを提供します。

 各種装置の回転軸への冷却水・温調用の流体を供給したり、半導体の製造工程でウェハーを研磨するCMPやラッピング装置等に使用されています。

特長

1.特長
 (1)シールをメカニカルシール構造を採用する事により、耐スラリー性、高温、高圧、高速にも適応が可能。
 (2)弊社独自技術の表面テクスチャーを採用する事により、低トルク、低リークにも対応可能。

2.製品の生産について
 (1)清浄度管理された生産工程によるクリーンな製品を提供。
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