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スペリア

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スペリアシリーズは、耐薬品性・低アウトガス・高熱性に優れ、半導体プロセスの幅広い分野で、その名の通り“より優れた”機能を発揮するOリング材料です。

特長

耐プラズマ性に優れています。(F815、F880、F837、F801)

耐薬品性・溶剤性に優れています。(FP64、FP53)

アウトガスの発生が少ない材料です。

半導体プロセス上での耐光性、耐熱性に優れています。