製品情報
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スペリア
スペリアシリーズは、半導体プロセスの幅広い分野で、優れた機能を発揮するフッ素ゴムです。
半導体プロセスで広く求められる耐プラズマ用途には F2815を、耐薬品用途にはFP64をラインナップしております。
特長
1.スペリアF2815
（1）今、グローバルに求められているノンフィラー(無充填)材です。
（2）充填剤を含んでいないためパーティクルの発生が極限まで抑えられます。
（3）高いプラズマ耐性を有したドライプロセスに適した高機能フッ素ゴムです。
2.スペリアFP64
（1）FFKM並みの耐酸/耐アルカリ性を有する高機能エラストマー製品です。
（2）重金属を配合していない、半導体ウェットプロセスに適した材質です。
